磁控溅射镀膜 晶界扩散 技术
磁控溅射是物理气相沉积的一种。
磁控溅射(镀膜)就是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面,
使被轰击出的粒子沉积在产品表面。

瀚海新材料的磁控溅射镀膜产品的工艺流程
烧结钕铁硼毛坯>机械加工>超声波清洗>三维磁控溅射>扩渗处理>回火处理>磨加工>电镀

瀚海磁控溅射镀膜工作现场

瀚海磁控溅射炉内产品

磁控溅射镀膜后产品
磁控溅射镀膜后产品,需要在真空炉中再进行再次烧制,
使表面的重稀土延钕铁硼的晶界扩散渗透到内部,
从而取代取代烧结钕铁硼主相晶粒外层的Nd,形成重稀土壳核结构。
优化晶界结构,提高矫顽力。
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