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你知道磁控溅射钕铁硼制备工艺技术吗？看这里[瀚海新材料]
稀土永磁材料的发展使得无刷直流电动机得到进一步的发展,但采用稀土材料制成的无刷直流电动机成本过高,仅应用在航空、航天和军用等高科技领域。对于高性能钕铁硼磁性材料的矫顽力和温度稳定性提出了更高的要求。怎么样保证磁体的高矫顽力和温度稳定性的前提下减少镝铽的用量成为重大难题。可以用磁控溅射钕铁硼制备工艺技术来解决。
磁控溅射钕铁硼制备工艺技术
磁控溅射是将Dy沉积过程与扩散过程分离，它是通过物理溅射将Dy沉积在原始磁体表面，之后再进行高温扩散。磁控溅射具有制备的膜层均匀、矫顽力提升效果明显等优点。
有研究试验表明N35烧结态与回火态磁体经溅射渗Dy处理后，在剩磁仅降低0.009T和0.03T的情况下，矫顽力大幅度提高，分别提高了708.44kA/m和665.46kA/m，增幅分别高达73.5%和64.8%，且渗Dy处理后磁体的Dy元素平均质量分数增加都不超过0.4%。
渗Dy处理后的磁体，Dy呈连续带状富集在富Nd相处，使得富Nd相变得更加连续光滑，富Nd相组织形貌的改善是矫顽力提升的原因之一。形成的(Nd,Dy)2Fe14B外延层具有较大的磁晶各向异性场，晶粒外延层的硬化，可以较好地抑制反向畴形核，也是矫顽力提升的主要原因。
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